一、無塵室用材的選擇
1.必須仔細選擇無塵室的各種用材，確保它們不會對室內(nèi)造成污染。無塵室內(nèi)經(jīng)常使用的材料與設(shè)備舉例如下：
1)生產(chǎn)中使用的材料：在微電子工業(yè)中使用的硅晶片；
2)產(chǎn)品包裝材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、預(yù)制的盒子等；
3)工藝設(shè)備和機器；
4)對設(shè)備和機器進行維修、校準、修理的工具以及轉(zhuǎn)動設(shè)備的潤滑劑等；
5)人員服裝，如潔凈工作服、手套、指套、口罩、頭罩等；
6)無塵室清潔用品，如抹布與拖把；
7)消耗性用品，如書寫紙張、圓珠筆、標簽、棉簽。
在大多數(shù)無塵室中粒子和纖維都是環(huán)境污染的主要來源。所以，應(yīng)避免在生產(chǎn)工藝中使用容易破損或散發(fā)粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應(yīng)避免使用。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，產(chǎn)品表面的化學品和空氣環(huán)境中的某些氣體分子可能形成的化合物，會沉積在半導(dǎo)體的表面上，它們可能影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至損壞半導(dǎo)體芯片。
在一些無塵室中，那些無法將靜電不斷地傳導(dǎo)開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產(chǎn)品會受到損壞。此外，靜電還會使材料產(chǎn)生靜電吸附效應(yīng)而吸附粒子，造成污染問題。
選擇用于無塵室內(nèi)的生產(chǎn)材料，不僅僅要著眼于適合于生產(chǎn)工藝，而且也應(yīng)關(guān)注是否有可能產(chǎn)生污染。顯然對那些既可能構(gòu)成污染，但又是生產(chǎn)所需的材料和物品，只有在缺之不可的情況下才能使用，或只有在已經(jīng)充分認識到了這些材料產(chǎn)生污染的問題，并考慮了其他替代材料但又確實都不適合后，才可使用。
2.以下所列舉的部分乃至全部物品，因其會造成無塵室的嚴重污染，根據(jù)產(chǎn)品對污染的敏感性不同，一般禁止在無塵室中使用。
1) 非無塵室紙，如果一定要使用普通紙，應(yīng)將其放入塑料袋內(nèi)或采用雙面熱塑；
2) 鉛筆與橡皮、墨水中含有污染無塵室環(huán)境的化學品、纖維頭書寫筆或者會劃紙的圓珠筆、修改液；
3) 用低碳鋼或其他會生銹、磨蝕、氧化的材料制成的物品；
4) 用機器加工或處理時會冒煙或破損的物品；
5) 用木頭、橡膠、紙張、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破損物品；
6) 研磨材料或粉末、產(chǎn)生氣溶膠的瓶瓶罐罐；
7) 不適合于在無塵室中使用的一次性物品，如棉簽、膠帶、標簽；
8) 無塵室人員不得將個人物品帶入無塵室內(nèi)。
二、外部供應(yīng)的物品及其包裝
1.外供物品宜在潔凈環(huán)境中產(chǎn)生
供應(yīng)無塵室的物品要求在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)，其潔凈度標準宜與產(chǎn)品所供應(yīng)的無塵室相同。如果外部供應(yīng)物品交付時不能達到適當?shù)那鍧嵥疁?，則必須在無塵室中對其加以清潔，但這樣做的效果可能差些。有越來越多的公司在潔凈環(huán)境中制造供應(yīng)無塵室生產(chǎn)所需的零部件，無塵室管理人員應(yīng)該向本企業(yè)采購部門強調(diào)，要關(guān)注無塵室物品供應(yīng)商的生產(chǎn)環(huán)境。應(yīng)盡量選擇質(zhì)優(yōu)價廉，又是在相應(yīng)潔凈環(huán)境中生產(chǎn)的無塵室用品，以保證本企業(yè)潔 凈室的潔凈度和減少清潔外供物品的耗費。
參觀考察供應(yīng)商的生產(chǎn)設(shè)施并檢查其生產(chǎn)環(huán)境是很必要的。外供物品生產(chǎn)廠家可能并不熟悉無塵室技術(shù)。所以，對他們的生產(chǎn)工藝的一些簡單建議和改進，就可能產(chǎn)生不錯的效果。即使制造廠家不具備潔凈生產(chǎn)環(huán)境，但只要有較高水平的潔凈管理條件，使用無塵室用的手套、抹布、不起毛的服裝等，也可大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
2.外供物品的包裝材料
應(yīng)注意產(chǎn)品的存儲和包裝。如果加工的產(chǎn)品從生產(chǎn)設(shè)備上取下后立即用合適的潔凈包裝方式包裝好，則周圍較差的生產(chǎn)環(huán)境對產(chǎn)品的影響就可以降至zui小。
外供物品的包裝方法和包裝材料必須考慮所供應(yīng)的無塵室的潔凈度等級，包裝的尺度、外形均應(yīng)符合貯藏、運輸、開箱過程中防污染的要求，對包裝材料的主要要求有以下幾點：
1)包裝材料的無污染性：要求包裝材料本身不產(chǎn)生粒子、纖維、污染氣體及蒸汽等， 不明顯地帶靜電，不與包裝品產(chǎn)生化學反應(yīng)；
2)包裝材料必須使用能夠清潔到包裝物品所要求的潔凈度的材料；
3)材料的強度及耐久性：包裝材料應(yīng)承受溫濕度、外部作用力和紫外線等影響，能夠保證所要求的密封性，避免運輸、存放過程中破損而污染，以致將污染帶入無塵室中。
無塵室外供用品的良好包裝，不僅可以避免產(chǎn)品在運輸途中的損壞，也可以zui大限度地避免產(chǎn)品受到外部環(huán)境的污染。常使用的塑料材料為塑料薄膜或預(yù)制的包裝塑料。塑料材料與其他許多材料相比，粒子、纖維、化學污染較少。塑料污染的大小取決于所使用的塑料種類、制造方法以及包裝方式。所以，對所用塑料包裝是否適宜也要進行檢驗。有些塑料會產(chǎn)生靜電，從而可能損壞產(chǎn)品。如果使用防靜電塑料，它對粒子及纖維的 吸附作用也較小，因此也更潔凈。如果需要控制分子污染的話，則有些塑料包裝材料（如 PVC包裝材料），可能就不適用了。
3.外供物品的包裝方式
還要考慮的是需要幾層包裝。如果無塵室用的物品采用的是多層包裝，就可以在其運往無塵室的過程中一次打開一層逐步拆裝，這就可以保證物品送至無塵室時是較潔凈的。對外包裝用真空吸塵器吸掃外表面及用潮濕抹布擦拭，有助于保持其清潔，特別是在將產(chǎn)品運往無塵室的開始階段，尤其如此。隨著產(chǎn)品逐步進入無塵室，外包裝也變得越來越潔凈，相對而言外包裝的清潔工作就顯得不那么必要了。
包裝物品有各種各樣的正確方法。不同的物品、不同的用途、材料傳遞氣閘室的不同設(shè)計等使得包裝方法也有很大區(qū)別。所以，無塵室的管理人員必須規(guī)定適用的包裝材料，規(guī)定所需物品在進入無塵室的過程中對包裝進行清潔和打開各層包裝的規(guī)程。
三、通過氣閘室傳遞物品和小件設(shè)備
任何無塵室都不免要和其他低潔凈級別區(qū)或非潔凈區(qū)發(fā)生物品傳遞的情況，減少傳遞過程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。通常使用氣閘室、緩沖間以避免無塵室外的空氣直接進入無塵室內(nèi)。在氣閘室的兩個門均關(guān)閉時，從外走廊在開門時侵入的污染以及使用氣閘室的人所散發(fā)出的污染，均被氣閘室的送風所稀釋。材料傳遞氣閘室的兩個門如同人身凈化的吹淋室一樣，一般都是聯(lián)鎖的。這樣就可以確保一扇門關(guān)閉之前另一扇門是不能打開的，可采用電氣聯(lián)鎖，也可以是機械聯(lián)鎖。這樣就可以防止外部較低潔凈級別或非受控區(qū)的空氣直接進人無塵室。粘墊則放在氣閘室人口處，或者氣閘室內(nèi)。粘墊的作用是防止鞋底或推車輪子上粘附的污染轉(zhuǎn)移到無塵室內(nèi)。氣閘室也用來防止材料表面及其包裝上的污染物帶入無塵室。以下介紹了兩種通過氣閘室傳遞材料的方法。一種是“有臺”式材料物品傳遞氣閘室；另一種是“無臺”式材 料物品傳遞氣閘室。可根據(jù)所傳遞的材料物品及傳遞的安全性選用。
1.帶傳遞臺的氣閘式傳遞室
“有臺”式材料物遞氣閘室是將供應(yīng)品安全地傳遞進無塵室的方法之一。這種方式就 是由傳遞臺將氣閘室分成“較臟”與“清潔”兩個區(qū)，這種方法適用于傳遞較輕、可以由人力搬動的材料和設(shè)備。
使用傳遞臺傳遞物品的方法如下：
1)清潔傳遞臺：先將非受控區(qū)一側(cè)的門打開，搬運材料或設(shè)備的人員，從較低潔凈級別或非受控區(qū)進入氣閘室。氣閘室地面鋪有粘墊或粘毯，這樣，從外面地板向內(nèi)轉(zhuǎn)移的 污染就可以zui少。搬運人員按規(guī)定方法對傳遞臺進行清潔，必要時對其進行消毒，進行清潔工作時要注意，較長的傳遞臺面被分為兩個區(qū)域，靠無塵室一側(cè)為“清潔”區(qū)，靠較低潔凈級別或非受控區(qū)一側(cè)為“拆包”區(qū)。
2)送入傳遞物品并拆包：完成清潔工作后，搬運人員將帶包裝的物品送人氣閘室。但不得把紙板箱的包裝材料帶入氣閘室內(nèi)，因為它們會散發(fā)較多粒子，易造成交叉污染。 將帶著塑料包裝的物品送人氣閘室后，將其放置在傳遞臺的“拆包”區(qū)一側(cè)，即所謂的 “帶包裝”側(cè)或“臟”側(cè)。隨即對包裝進行清潔，然后拆開包裝。其具體清潔方法根據(jù)使用物品的無塵室的標準而定，別潔凈室要求“精潔凈”，一般無塵室要求則略低。然 后把物品放置于傳遞臺的另一側(cè)，即所謂的“包裝已拆”側(cè)或“潔凈”側(cè)。將物品從外部區(qū)域送人氣閘室內(nèi)的人員攜帶裝置外包裝的容器，關(guān)上通往外部區(qū)域的門，離開氣閘室。
3)氣閘室充分自凈：讓氣閘室處在無人狀態(tài)下數(shù)分鐘的時間，以便將污染降至這樣 的濃度：當無塵室一邊的門打開時，無塵室不會受到大的影響。為實現(xiàn)這一目的，可安裝內(nèi)外門的聯(lián)鎖計時裝置或指示燈。當無塵室側(cè)門自動打開或指示燈點亮后，無塵室的人員進人氣閘室，拿起物品后離開氣閘室。
2.無傳遞臺的傳遞區(qū)
如果需要將大的重型設(shè)備或機器進出無塵室，則常常使用不帶傳遞臺的氣閘室。但不帶傳遞臺的氣閘室作為傳遞區(qū)使用時，其安全度一般低于帶傳遞臺的氣閘室。
其工作程序如下：拆除用紙箱等包裝的無塵室用品放在一清凈小車上。小車從外部的非受控區(qū)推入傳遞用氣閘室，人員隨即離開。來自無塵室的人員進入氣閘室并取到供應(yīng)的材料。如果該材料 較重，不得不將小車推入無塵室。在將小車推人無塵室以前，必須在氣閘室內(nèi)對其進行清潔。如果材料不那么重的話，則可將材料轉(zhuǎn)移到從無塵室推過來無塵室的材料轉(zhuǎn)運小車上。清潔或拆除材料的包裝，或先清潔再拆除包裝。然后，將載有材料的潔凈小車推入無塵室，無塵室的門隨后關(guān)閉。如果有物品需要帶出，外來的小車可暫時留在氣閘室。如果有更多的供應(yīng)物品需要運入，外來的小車即可離開氣閘室。當把無塵室的小車推人無塵室前，可以考慮使用無塵室粘墊或粘毯清除小車輪子上的污染物。
四、無塵室固定設(shè)備的進入、安裝與維修
對于那些進入無塵室就位后就同定不動或相對同定的大型設(shè)備，例如無塵室生產(chǎn)工藝用的自動機械加工設(shè)備、隔離性裝置、排風罩等，這類固定設(shè)備通常處在無塵室關(guān)鍵工序 的周圍，它們一旦被安裝到位，再次移動不僅十分困難，并對無塵室的環(huán)境條件也影響較大。對于這類無塵室的大型設(shè)備，首先要求供貨商在生產(chǎn)制造時，務(wù)必在潔凈環(huán)境中，而且其包裝材料、方法也應(yīng)符合無塵室的要求。
1.固定設(shè)備進入的程序
為了避免發(fā)生大型固定設(shè)備進入“動態(tài)”無塵室，也就是說無塵室已投付正式運行， 還要進入大型固定設(shè)備，應(yīng)該在管理計劃中盡可能排出。因為在這種特殊情況下，無塵室按ISO14644-2 “證明持續(xù)符合ISO14644 -1的測試和監(jiān)測技術(shù)條件”的規(guī)定要重新認證無塵室，其工作是相當繁雜的。
正常情況下，通常是在空態(tài)或靜態(tài)條件下將固定設(shè)備送入。把設(shè)備送入無塵室時，應(yīng)該關(guān)注的問題是：整個過程都不應(yīng)增加對環(huán)境的污染。
解決大型部件運進運出的辦法就是設(shè)計一個大型物流氣閘室。它足以將每件設(shè)備運進運出無塵室。如果條件允許，設(shè)計無塵室時，宜考慮采納這個方案。
設(shè)備進出無塵室的另一設(shè)計方案是在無塵室的墻上開一組雙門，大得足以容納機器、大型設(shè)備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖住，只有設(shè)備需要進入時才打開。有些類型的墻板模塊可以取下來再安裝好又不對墻造成損壞，這樣的話，就不需要另開門洞。
2.可在無塵室內(nèi)墻一側(cè)建一個臨時氣閘室
所有準備進入的設(shè)備都要檢查在運輸中有無損壞，有損壞的設(shè)備應(yīng)該在無塵室外隔離保護起來，待供貨商修復(fù)或另行處理。運輸用的板條箱、硬紙板等應(yīng)該在鄰近無塵室的未受控區(qū)內(nèi)拆封，然后再運進受控環(huán)境。如果沒有包裝，則設(shè)備的所有表面都應(yīng)該予以清潔，然后再運進潔凈區(qū)。理想的方法是在設(shè)備氣閘室內(nèi)進行設(shè)備清潔，當設(shè)備過大時，宜于在氣閘室或無塵室附近臨時專門修建的房間內(nèi)拆掉zui外面的薄膜材料，作進人無塵室前的清潔工作。
拆包步驟如下：
1)對設(shè)備外護層用吸塵設(shè)備進行清潔，從頂部開始，向兩側(cè)擴展；
2)用適當?shù)那鍧崉┎潦猛庾o層；
3)從設(shè)備外護層的頂部撕開一個“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護層；
4)如果有多層包裝，每層包裝膜都要按2)、3)程序重復(fù)進行；
5)所有運送設(shè)備人員進入氣閘室前都要穿上適當?shù)臐崈舴?br />6)所有移動用、搬運用的設(shè)備都應(yīng)在氣閘室內(nèi)進行清潔；
7)在打開氣閘室靠無塵室一側(cè)的門運入設(shè)備前，應(yīng)先清潔氣閘室。
3.通過傳遞窗傳遞材料
除了物流氣閘室外，還有其他方法可將材料傳遞入無塵室內(nèi)供使用。將小型的物件傳 進傳出無塵室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入無塵室，大致通過下述的步驟：
1)在無塵室外面的人員打開傳遞窗的小門，對傳遞窗進行清潔；
2)打開物品的一層包裝，將物品放入傳遞窗內(nèi)；
3)關(guān)閉傳遞窗的小門；
4)在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內(nèi)門，取出物品。對取出的物品進行清潔。 在污染控制要求嚴格的場合，則再打開物品的另一層包裝。傳遞窗一般都帶有電子或機械的聯(lián)鎖裝置，防止兩個小門被同時打開，這樣可防止外部空氣流入無塵室。有時將傳遞窗建在與地面水平的位置，便于較重的物品通過傳遞窗。
4.固定設(shè)備運入的機械
如有可能，大型設(shè)備應(yīng)該臨時拆卸為能安全進人無塵室的組件，使無塵室設(shè)備運入過程的風險降低。因為這些大型裝設(shè)搬運中，與無塵室圍護結(jié)構(gòu)表面接觸時，可能發(fā)生磨損、撞傷，并產(chǎn)生污染。
所有用于大設(shè)備、組件的提升、牽引或定位的設(shè)備，在進入無塵室前必須*清潔。這類設(shè)備多數(shù)不是專為無塵室使用而設(shè)計、制造的，應(yīng)*地檢驗有無膜屑，表面剝落狀況或不宜進入無塵室的材料。
通常宜用與無塵室級別相適應(yīng)的塑料薄膜或帶子包裹或密封這些設(shè)備的外表面。設(shè)備如橡膠輪，宜用無塵室塑膠帶包嚴，以免在地面上下橡膠或塑料微粒。
5.固定設(shè)備的安裝程序
zui有效的措施是在設(shè)備安裝階段用臨時的隔墻或隔斷把設(shè)備所在位置與無塵室隔離開來。為不妨礙設(shè)備安裝，在設(shè)備周圍應(yīng)留出足夠的空間，但同時也要注意隔離區(qū)空間適度，不宜過大。操作程序及其他注意事項如下：
1) 設(shè)備應(yīng)盡可能通過服務(wù)通道或其他非關(guān)鍵區(qū)（non-criticalarea)進人隔離區(qū)（dis- olation area),如不可能則應(yīng)采取措施盡量減少污染。
2) 該隔離區(qū)的氣壓相對于周邊應(yīng)維持中性或負壓。*封閉的隔離區(qū)則應(yīng)該截斷區(qū)內(nèi)的潔凈空調(diào)送風，以減少安裝時產(chǎn)生的污染物向外擴散。 
3) 應(yīng)該事先制定計劃，明確對隔離區(qū)和周圍區(qū)域監(jiān)控的方法和頻率，確保能及時發(fā)現(xiàn)污染物由隔離區(qū)向外滲透的情況。
4) 設(shè)備就位后，在架設(shè)各種動力設(shè)施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時，應(yīng)采取措施控制操作過程產(chǎn)生的煙氣和殘渣，避免污染周圍的無塵室，也有助于減輕拆除隔斷時的清潔工作量。
5) 在設(shè)備安裝工作完成后，清除隔離區(qū)內(nèi)的污染，墻、地面、設(shè) 備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設(shè)備護板后面和下面區(qū)域的清潔。
6) 在隔離區(qū)清潔工作完成后，可以進行設(shè)備的試運行和設(shè)備性能的初步測試，但zui后驗收的測試，則需要*具備無塵室的條件方可。
7) 經(jīng)仔細分析，選定對無塵室內(nèi)的正常工作干擾zui少的時間拆除隔斷墻。在小心地拆除隔斷墻的同時，隔離區(qū)內(nèi)原被臨時阻斷的送風口，開始恢復(fù)送入潔凈空氣。此過程中，宜于隨時監(jiān)測周邊離子濃度的變化。
8) 清理隔斷后，設(shè)備所處位置恢復(fù)無塵室正常狀態(tài)，開始對設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵工序部位進行進一步清潔和作投人使用的準備。
9) 對設(shè)備所有內(nèi)腔和所有與產(chǎn)品接觸表面，也包括產(chǎn)品裝卸的表面，都要進行擦拭， 使之達到要求的潔凈度水平。設(shè)備清潔順序應(yīng)是從頂?shù)降?。如果清潔過程中有顆粒物散出，則較大的粒子，在重力作用下將落到設(shè)備底部或地面。
10) 再次清潔設(shè)備外部，其順序也是從頂至底。
11) 必要時，應(yīng)檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵區(qū)域的表面粒子情況。
6.固定設(shè)備的維護與維修
任何設(shè)備都需要定期維護或臨時維修。對此項工作的指導(dǎo)原則是：無論設(shè)備進行維護或維修時，都不能造成對無塵室的污染。維護、維修工作完成后要清除設(shè)備外表面的污染，按工藝要求，必要時還要清除內(nèi)表面的污染。
1)如有可能，凡要進行維修的設(shè)備應(yīng)先移出無塵室再維修，以減少污染產(chǎn)生的可能性；
2)如果必要，應(yīng)將需要維護的固定設(shè)備與周圍的無塵室隔離開來，再進行主要的維護或維修?；蛘卟扇“阉姓谥圃斓漠a(chǎn)品移往適當位置的措施；
3)正在維護、維修設(shè)備相鄰的無塵室區(qū)域，應(yīng)適當加強監(jiān)控，以保證有效地控制污染；
4)在隔離區(qū)內(nèi)進行維修、維護的工作人員，不應(yīng)與無塵室的生產(chǎn)或操作人員發(fā)生接觸；
5)進人無塵室的維護或維修人員，應(yīng)遵循該潔凈區(qū)的規(guī)范，包括穿著適當?shù)墓ぷ鞣熬S修完成后對該區(qū)和設(shè)備清潔應(yīng)達到要求；
6)如果技術(shù)人員需要躺下或爬到設(shè)備下面去維修，應(yīng)該先確定工作條件是否適宜，應(yīng)在進行化學品、酸或生物危險品有效中和或適當處理后，再開始維修工作；
7)應(yīng)采取措施保護維修人員的潔凈服不接觸到設(shè)備上的潤滑油或工藝用化學品等污染物，還應(yīng)避免潔凈服被設(shè)備、工作的銳邊撕裂、捅破；
8)進行維護或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進入無塵室前都應(yīng)*地清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進人生物無塵室，則還可能要求滅菌或消毒；
9)維修技術(shù)人員應(yīng)避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等任何物品，放置在產(chǎn)品或工藝材料用的工作表面附近；
10)維修工作過程中應(yīng)該注意清潔，隨時進行清潔工作，定期地更換手套，避免因手套破損，維修人員的皮膚接觸設(shè)備潔凈表面的情況發(fā)生；
11)如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非無塵室手套，那么這些手套應(yīng)符合潔凈室要求或另套一副無塵室手套；
12)如需進行鉆、鋸作業(yè)時，應(yīng)使用的罩蓋，把工具和進行鉆、鋸的區(qū)域遮蔽起來，同時使用無塵室真空除塵器，及時吸走揚塵。
13)在地面、墻面、設(shè)備側(cè)板或其他表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措 施，如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經(jīng)孔洞、縫隙擴散到無塵室內(nèi)。